展示范围

电子大宗气体

氮气、氦气、氧气、氩气、氢气和二氧化碳等

1）掺杂气体：三氯化硼、三氟化硼、磷烷、砷烷等；

2）蚀刻清洗气体：氯气、三氟化氮、溴化氢、四氟化碳、六氟乙烷等；

3）反应气体：二氧化碳、氨、氧化亚氮等；

4）沉积气体：六氟化钨、三甲基镓等；

5）光刻气体：氟化氩、氟化氪等；

6）半导体电子特气：超纯氨、高纯氧化亚氮、正硅酸乙酯、高纯二氧化碳、八氟环丁烷、六氟丁二烯、一氟甲烷、硅烷混合气等；

7）惰性气体：氦、氖、氩、氪、氙、氡、气奥等；

笑气、氨气、硅烷、四氟化碳、六氟化硫、氯化氢、八氟环丁烷、甲烷气体、还原性气体、氧化性气体等；

高纯电子气体纯化技术、气体合成、电解技术、电解电源、净化技术、气体混配、气瓶处理、气体充装、气体分析检

测、气瓶与压力容器、气体分离设备、纯化设备、精密过滤器、

气体洁净充装技术、高纯混合气体配制系统等；

气体储罐、特气管道、阀门调压组件、气体泄漏监测、尾气处理设备等；
特气充装、运输、运维服务，厂区特气整体配套设计与一体化解决方案等。